O sistema de exaustão e filtragem com objetivo de reter partículas sólidas, bem como purificar o ar através de carvão ativado. Outra vantagem importante do sistema de exaustão e filtragem refere-se à manutenção. Um dos itens mais críticos e importantes do equipamento é a lente que concentra a feixe de laser, ela é responsável diretamente pela qualidade e precisão da gravação. No processo de gravação, um resíduo do substrato gravado transforma-se em pequenas partículas, e pode fixar-se na lente, reduzindo a sua transparência e aumentando a necessidade da frequência de limpeza, como o exaustor cria uma pressão negativa no interior do enclausuramento, ele remove as impurezas levando-as diretamente para o sistema de filtragem, impedindo que se fixem na lente.